Cистема μPolisher от компании Thermo Fisher Scientific

Система μPolisher — это уникальное решение для локальной модификации поверхности с использованием очень низких энергий пучка, позволяющее также производить полировку и очистку объемных образцов. Традиционные типы взаимодействия варьируются от химической реакции до реактивного ионного травления и ионного измельчения, в зависимости от энергии.
В системе используется статичный пучок газообразных ионов Ar+ с регулируемой энергией от 20 до 500 эВ для обеспечения щадящей полировки поверхности.

Независимо от энергии, устройство имеет широкий диапазон ионных токов от 0,01 до 100 нА, что позволяет использовать его в самых разных областях. В дополнение к этому, μPolisher обладает рядом уникальных характеристик таких как высокая плотность тока для быстрой очистки поверхности и локализованный луч для обеспечения точной обработки конкретной области интереса без переосаждения на нее материала с окружающих объектов. Система полностью интегрирована в электронные микроскопы SEM/DualBeam™, что позволяет проводить исследования или динамические эксперименты сразу после очистки без нарушения вакуума. Благодаря полной интеграции в пользовательский интерфейс микроскопа, µPolisher обеспечивает простое и интуитивно понятное управление.

Подробнее о дополнительном оборудовании здесь.