Двулучевая система Helios 5 PXL от компании Thermo Fisher Scientific

Helios 5 PXL PFIB Wafer DualBeam — сканирующий электронный микроскоп с плазменным фокусированным ионным пучком, созданный для встроенной сквозной метрологии и проверки структур с высоким аспектным отношением и сокращения времени получения данных с дней до часов. Система позволяет проводить анализ всей пластины и полностью автоматизирует снятие слоев, травление и метрологию на производстве, ускоряя выпуск качественных пластин и сокращая количество брака.

Новый Helios 5 PXL обеспечивает полную линейную метрологию, а также мониторинг технологического процесса и контроль отклонений в соответствии с новейшими протоколами и стандартами работы с 300-миллиметровыми пластинами. Пользователи могут достоверно измерять и проверять интересующие особенности в сложных вертикальных стеках и структурах с большим соотношением сторон.

Преимущества Helios 5 PXL:

  • СЭМ-изображения в нанометровом масштабе;
  • крупносерийное высокоскоростное травление и изготовление поперечных сечений;
  • оптимизированное планарное удаление материалов и сохранение качества поверхности;
  • удаление слоев металлизации с помощью запатентованной химии;
  • подготовка ламелей большой площади в конкретном месте;
  • обработка 300-миллиметровых пластин.

Подробнее о Helios 5 здесь.