Улучшение точности элементного анализа с помощью Qmaps для СЭМ Phenom от компании Thermo Fisher Scientific

В настольных СЭМ Phenom идентификация элементов по полученному спектру полностью автоматизирована. Для идентификации элементов проверяются положения пиков по известной базе данных спектральных линий. Этот подход используется большинством аналитических устройств. Алгоритм Phenom использует библиотеку, которая включает множество опубликованных и рецензируемых баз данных атомной спектральной информации. Тем не менее, в таком подходе существует несколько сложных моментов и артефактов. Известно много примеров, когда пики разных элементов перекрываются; например, кремний (Kα₁=1,739 кэВ) и вольфрам (Mα₁=1,779) имеют разделение 40 эВ, что выходит за пределы разрешения ЭДС детектора. В последнем обновлении программного обеспечения для элементного анализа, была добавлена важная функция Qmaps — деконволюция пиков.

Деконволюция пиков — это математический подход к разделению перекрывающихся пиков и определению вклада каждого отдельного элемента в общую форму пика в спектре. Благодаря этой функции, элементный анализ стал точнее, позволяя на программном уровне обнаружить и разделить элементы с перекрывающими друг друга или совпадающими пиками и особенно это заметно при проведении картирования на образце.

Традиционные ЭДС карты отображают распределение рентгеновского сигнала (рентгеновская карта). Карта отображает сигнал, поступающий от каждого пикселя и, как видно на рисунке, алгоритм Phenom ЭДС с деконволюцией легко разрешает эти перекрытия для правильной количественной оценки.

Подробнее о СЭМ Phenom ProX здесь.