Зондовый анализ для задач микроэлектроники в настольном СЭМ от компании Thermo Scientific

Держатель для подачи напряжения на образец, предназначенный для настольных сканирующих электронных микроскопов Thermo Scientific Phenom моделей Pure/Pro/ProX и Pharos, позволяет подключать электрические зонды к образцу, микросхеме, микрочипу или иному подобному устройству.

Шесть быстросъемных контактов (зондов) могут использоваться для считывания различных сигналов, а также подачи напряжения и тока к образцу одновременно, в то время как образец наблюдается при помощи электронного луча внутри сканирующего электронного микроскопа, что позволяет визуально изучить области, которые взывают интерес или являются проблемными. Образец должен иметь размер, позволяющий поместить его на 12-миллиметровом столике.

Блок управления держателя позволяет подключаться напрямую, минуя защитную дверцу микроскопа, благодаря чему не требуется никаких изменений в архитектуре микроскопа Phenom.