ИК-Фурье спектрометр CryoSAS
Анализатор кремния CryoSAS — это специализированная система для низкотемпературного (< 15 K) определения примесей в кремнии на низком уровне, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях. CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующим использования жидкого гелия. Укомплектованный самым современным оборудованием, CryoSAS использует хорошо проверенную методику выполнения сложных анализов в соответствии с требованиями кремниевой промышленности. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений. CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Также возможен одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согласно стандарту ASTM/SEMI MF1391.
Основные преимущества:- высокая чувствительность;
- система охлаждения до криотемператур замкнутого типа, не требующая жидкий гелий (лучше: применения жидкого гелия);
- большой отсек образца из нержавеющей стали для смены образцов;
- система вакуумирования с безмаслянным форвакуумным и турбомолекулярным насосами;
- надежный высокоточный автоподатчик образцов на 9 позиций;
- чувствительность по бору — 30 ppta;
- чувствительность по фосфору — 10 ppta;
- чувствительность по углероду — 20 ppba.
| Тип | Промышленный |
| Метод анализа | ИК среднего диапазона |
| Корпус спектрометра | Вакуумируемый |
| Детекторы | DTGS, Si |
| Лазер | NeHe |
| Расширение спектрального диапазона | Фиксированный |
| Стандартное спектральное разрешение | 0.5 см-1 |
| Тип образцов | твердые |
| Максимальный спектральный диапазон | От 1 500 см¯¹ до 280 см¯¹ |
| Максимальное спектральное разрешение | 0,5 см¯¹ |
| Скорость сканирования | 5 сканов/сек |
| Встроенный сенсорный экран и специальное программное обеспечение OPUS-TOUCH | Нет |
| Встроенная газовая кювета | Нет |
| Приставки | Нет |
