Интегрированная система ионного травления и очистки образцов μPolisher

Система Thermo Scientific™ μPolisher — это уникальное решение для локальной модификации поверхности с использованием очень низких энергий пучка, позволяющее также производить полировку и очистку объемных образцов. Традиционные типы взаимодействия варьируются от химической реакции до реактивного ионного травления и ионного измельчения, в зависимости от энергии. В системе используется статичный пучок газообразных ионов Ar+ с регулируемой энергией от 20 до 500 эВ для обеспечения щадящей полировки поверхности. Независимо от энергии, устройство имеет широкий диапазон ионных токов от 0,01 до 100 нА, что позволяет использовать его в самых разных областях. В дополнение к этому, μPolisher обладает рядом уникальных характеристик, таких как высокая плотность тока для быстрой очистки поверхности и локализованный луч для обеспечения точной обработки конкретной области интереса без переосаждения на нее материала с окружающих объектов. Система полностью интегрирована в электронные микроскопы SEM/DualBeam™, что позволяет проводить исследования или динамические эксперименты сразу после очистки без нарушения вакуума. Благодаря полной интеграции в пользовательский интерфейс микроскопа, µPolisher обеспечивает простое и интуитивно понятное управление.

Основные преимущества:

• уникальное решение для различных инновационных применений;
• травление статичным ионным пучком с очень низкой энергией (20–500 эВ) для максимально бережной полировки поверхности;
• решение для SEM/DualBeam, позволяющее проводить эксперименты in-situ после очистки поверхности без нарушения вакуума;
• небольшой размер пятна для точной локальной обработки поверхности без переосаждения материала;
• широкий диапазон условий эксплуатации для различных применений;
• полная интеграция в пользовательский интерфейс микроскопа обеспечивает простое и интуитивно понятное управление.