Двухлучевые
микроскопы
Двухлучевые микроскопы
Helios Nanolab Helios Nanolab

Scios 2 Scios 2


Двухлучевой электронный микроскоп (Dual Beam) компании FEI.

Вобрав в себя всё самое лучше от сканирующих электронных микроскопов и ионных микроскопов, двухлучевые системы компании FEI являются универсальными инструментами для проведения всех возможных исследований и анализов, доступных электронной микроскопии. Для многих направлений производства и науки наличие двухлучевой системы является обязательным фактором успеха. Например, для микроэлектроники критически важно знать точные размеры элементов, толщины слоев, наличие дефектов – всё это можно измерить и найти только при помощи двухлучевых систем, а создание тонких пленок для просвечивающей электронной микроскопии с прецизионной точностью и с определенного места является критически важным моментом для производства транзисторов, размеры которых измеряются нанометрами. Так же существует множество задач для металлографии и металлообработки, которые невозможно решить без использования электронных микроскопов данного типа.

Самой универсальной двухлучевой системой от компании FEI является универсальный CrossBeam Scios, перенявший все преимущества более не выпускающейся системы Versa 3D и имеющий, как уникальную электронную пушку высокого разрешения для исследования образцов в нано- диапазоне, так и мощную ионную пушку на основе ионов галлия (Ga+), позволяющую быстро и эффективно проводить все необходимые виды анализа и модификации. В совокупности с газовой инжекционной системой (GIS), данный микроскоп способен решить любую, даже самую сложную задачу и будет полезен во всех областях, как на производствах, так и в научных лабораториях.

Используя самые передовые технологии, компания FEI создала более продвинутую версию двухлучевой системы с различными модификациями – Helios Nanolab. Электронная пушка сверхвысокого разрешения, уникальный набор детекторов, а так же проверенная и надежная ионная пушка, аналогичная устанавливаемой на микроскопах Scios, позволяют получать исключительные по точности и прецизионности результаты, дающие ответы на самые сложные поставленные задачи. Если же исследования связаны с значительными и объемными образцами, для травления ионным пучком которых требуется большое количество времени или же травление не возможно – на систему Helios возможно установить самую продвинутую и передовую плазменную пушку на основе ионов ксенона (Xe+), обладающей невероятной скоростью травления в совокупности с достаточно высокой точностью и, тем самым, усовершенствовав систему до Helios Plasma FIB.