Двухлучевой микроскоп Scios 2

• Описание
• Технические характеристики
• Видео
• Скачать

					Array
(
    [0] => Array
        (
            [TEXT] => NICol: неиммерсионная колонна FESEM сверхвысокого разрешения Колонна автоэмиссионного SEM высокого разрешения: 


 
 
  
Высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки
 
  
Срок службы источника 12 месяцев
 
  
Простые установка и обслуживание пушки — автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения
 
  
Автоматизированные нагреваемые апертуры
 
  
Непрерывное регулирование тока пучка и оптимизированная апертура
 
  
Двухступенчатое обнаружение при сканировании
 
  
Линза с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы

  
Геометрия линзы объектива 60° 
  
Подсказки для пользователя и предустановки
 
  
Ионная колонна Sidewinder
 
  
Жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока
 
  
Срок службы источника: гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА
 
  
Ускоряющее напряжение: от 500 В до 30 кВ
 
  
Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней
 
  
Стандартное гашение пучка
 
  
Апертурная полоса с 15 положениями
 
  
Увеличение: 40×-1,28Mх в зависимости от  светофильтра
 
  
Режим подавления смещения входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов 
 
  
Формирование изображения в высоком вакууме, оптимальное рабочее расстояние
 
  
3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок)
 
  
5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок)
 
  
Максимальная ширина горизонтального поля: 4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде)
 
  
Особо широкая зона видимости (1х), достигаемая благодаря стандартному навигационному монтажу
 
 
            [TYPE] => html
        )

    [1] => Array
        (
            [TEXT] => · Формирование изображения в    высоком вакууме при оптимальном рабочем расстоянии:

      -- 0,8 нм при 30 кВ (STEM)

      -- 1,0 нм при 15 кВ

      -- 1,6 нм при 1 кВ

      ·· Диапазон тока пучка: от 1 пА до 400 нA

      ·· Диапазон контактной энергии: от 20 В до 30 кВ*

      ·· Диапазон ускоряющего напряжения: от 350 В до 30 кВ
            [TYPE] => html
        )

    [2] => Array
        (
            [TEXT] => Вцентрический гониометрический    высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик

      Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм

      Воспроизводимость результатов: 
      Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм

      Поворот: n x 360°

      Наклон: -15° / +90°

      Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика

      Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до    2 кг при наклоне 0°)

      Максимальный размер образца: Ø120 мм при полном вращении (для образцов    большего размера вращение ограничено)
            [TYPE] => html
        )

    [3] => Array
        (
            [TEXT] => · Размер по горизонтали: 379    мм

      ·· Аналитическое рабочее расстояние: 7 мм

      ·· Количество портов: 21

      ·· Угол закрытия горизонта EDS: 35°
            [TYPE] => html
        )

    [4] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Система обнаружения Trinity    (внутрилинзовая и встроенная в колонну)

      -- - T1 сегментированный нижний внутрилинзовый детектор

      -- T2 верхний внутрилинзовый детектор

      -- T3 выдвижной, встроенный в колонну детектор*

      -- До четырёх одновременно обнаруживаемых сигналов

      ·· Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли

      ·· ICE-детектор (вторичные электроны и ионы)*

      ·· Выдвижной сегментированный BSED-детектор с направленным обратным    рассеянием*

      ·· Выдвижной сегментированный STEM-детектор (BF, DF, HADF, HAADF)*

      ·· IR-CCD

      ·· Камера Nav-Cam™, установленная в камере*
            [TYPE] => html
        )

    [5] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Полностью безмасляная    вакуумная система

      ·· 1 × 220 л/с турбомолекулярный насос

      ·· 1 × PVP-винт

      ·· 3 × IGP

      ·· Вакуумная камера (высокий вакуум) 
      ·· Время откачки: 
  
            [TYPE] => html
        )

    [6] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Очистка образца / камеры: FEI    CryoCleaner, FEI Integrated Plasma Cleaner

      ·· Анализ: EDS, EBSD, WDS, CL

      ·· QuickLoader™: загрузочный шлюз для быстрого переноса образца

      ·· Навигация: Nav-Cam, Correlative Navigation, MAPS Tiling and Stitching

      ·· FEI Gas Injection: до 4 единиц (другие виды вспомогательного    оборудования могут накладывать ограничения на количество доступных    газоинжекторных систем) для осаждения, индуцированного электронным пучком, и    травления с возможностью выбора более чем из 10 прекурсоров, таких как:

      -- Платина

      -- Оксид кремния

      -- Вольфрам

      -- Расширенная функция травления (I2)

      -- Углерод

      -- Расширенная функция травления изоляционного материала (XeF2)

      -- Золото

      -- Селективное травление углерода (водяное)

      ·· Манипуляторы

      ·· Электрическое зондирование

      ·· Система локального подъёма образца FEI EasyLift™ (или другие    манипуляторы)
            [TYPE] => html
        )

    [7] => Array
        (
            [TEXT] => ·· 64-битный графический    пользовательский интерфейс на базе Windows 7, клавиатура, оптическая    мышь

      ·· Концепция графического пользовательского интерфейса «Beam per view»    (один пучок в виде) с отображением до 4 одновременно активных видов

      ·· 24-дюймовый ЖК-монитор*, WUXGA 1920 x 1200 (второй монитор по    дополнительному заказу)

      ·· Джойстик по дополнительному заказу

      ·· Многофункциональная панель управления по дополнительному

      заказу
            [TYPE] => html
        )

    [8] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Интервал времени точечной    экспозиции (dwell time) сканирования 0,025–25 000 мкс/ пиксель

      ·· До 6144 x 4096 пикселей

      ·· Тип файла: TIFF (8, 16, 24-битный), BMP или JPEG, стандартный

      ·· Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах

      ·· SmartSCAN™ (256 кадров усреднения или накопления, линейного    интегрирования и усреднения, чересстрочной развёртки)

      ·· Интегрирование кадра с компенсацией смещения (DCFI)

      ·· Регистрация изображений
            [TYPE] => html
        )

    [9] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Концепция графического    пользовательского интерфейса «Beam per view» (один пучок в виде) с    отображением до 4 одновременно активных видов

      ·· FEI SPI™, iSPI™, iRTM™ для улучшенного контроля процессов SEM и ФИП и    задания конечных точек в реальном времени

      ·· Поддерживаемые графические элементы: линии, прямоугольники,    многоугольники, окружности, кольца, сечения, очищенные сечения, формирование    массивов, запрещённые зоны, динамическое пороговое травление

      ·· Регистрация изображений

      ·· Напрямую импортированные BMP-файлы или потоковые файлы для трёхмерного    травления и осаждения

      ·· Поддержка массивов данных для минимизации времени обработки,    корректировка пучка и независимые перекрытия

      ·· Навигационный монтаж

      ·· Программное обеспечение визуального анализа

      ·· Отмена и возврат предыдущего действия

      ·· Подсказки по базовым
            [TYPE] => html
        )

    [10] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Пакет AutoFIB™ для    автоматизации работы двулучевой системы DualBeam на базе макросов и  скриптов

      ·· iFast для повышения уровня автоматизации двулучевой системы    DualBeam

      ·· MAPS™ для автоматического получения больших изображений и совместной    работы

      ·· Мастер AutoTEM™ для автоматизированной подготовки образцов и поперечного    сечения S/TEM

      ·· Auto Slice & View™: автоматизированная ионная резка и просмотр для    сбора серий срезов для трёхмерной реконструкции

      ·· Программное обеспечение трёхмерной реконструкции

      ·· EBS3™: автоматизированная ионная резка и получение EBSD-карт для сбора    серий текстурных или  ориентационных    карт для трёхмерной реконструкции

      ·· EDS3™: автоматизированная ионная резка и получение ESD-данных для сбора    серий химических карт для трёхмерной реконструкции

      ·· Программное обеспечение доступа к веб-архиву данных

      ·· Программное обеспечение визуального анализа
            [TYPE] => html
        )

    [11] => Array
        (
            [TEXT] => ·· Электропитание:

      -- напряжение 100–240 В~ (-6%, +10%)

      -- частота 50 или 60 Гц (± 1%)

      -- расход мощности: 
      ·· Сопротивление заземления 
      ·· Окружающие:

      -- температура 20 ± 3 °C

      -- относительная влажность менее 80%

      -- паразитные ЭМП переменного тока:

      -- 
      -- 
      -- > 20 мс (сеть питания 50 Гц) или

      -- > 17 мс (сеть питания 60 Гц) 

      ·· Минимальный размер дверного проёма: 0,9 м ширина × 1,9 м высота

      ·· Вес: консоль колонны 980 кг

      ·· Сухой азот

      ·· Сжатый воздух 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный

      ·· Охладитель системы

      ·· Уровень шума: требуется обследование места установки, поскольку должен    учитываться акустический спектр

      ·· Вибрация пола: требуется обследование места установки, поскольку должен    учитываться спектр частот вибрации пола

      ·· Виброизоляционный стол поставляется по дополнительному заказу
            [TYPE] => html
        )

)