Двулучевой микроскоп Scios 2

Система Scios 2 DualBeam является идеальным решением для удовлетворения потребностей ученых и инженеров в передовых исследованиях и анализе в академических, профильных, университетских и промышленных исследовательских средах. Прибор обеспечивает лучшую в своем классе производительность при подготовке ПЭМ-образцов и трехмерной характеризации материалов для самого широкого спектра образцов, включая магнитные и непроводящие материалы, когда требуется высокое разрешение и широкие аналитические возможности.

Колонна сфокусированного ионного пучка (FIB) Thermo Scientific Sidewinder ™ HT не только обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и травление на высоких ускоряющих напряжениях, но также имеет великолепные характеристики на низких ускоряющих напряжениях, что позволяет изготавливать высококачественные ПЭМ-образцы. Комплексное программное обеспечение Thermo Scientific AutoTEM™ 4 позволяет в автоматическом режиме быстро и легко подготовить ламели из широкого спектра образцов и материалов для ПЭМ сверхвысокого разрешения.

Система Scios 2 DualBeam с дополнительным программным обеспечением Thermo Scientific Auto Slice & View™ 4 обеспечивает высококачественное, полностью автоматизированное получение мультимодальных 3D данных, включая, среди прочего, визуализацию в BSE для максимального контраста материалов, энергодисперсионную спектроскопию (EDS) и дифракцию обратного рассеяния электронов (EBSD) для получения элементной, микроструктурной и кристаллографической информации, в том числе в 3D. В сочетании с программным обеспечением Thermo Scientific Avizo ™ система Scios 2 представляет собой уникальное решение для рабочих процессов с высоким разрешением c расширенными 3D-возможностями и анализом в нанометровом масштабе.

Уникальная технология детектирования Thermo Scientific Trinity ™, встроенная в линзу, в сочетании с системой торможения пучка может одновременно детектировать низкоэнегретичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода и позволяет получать высококонтрастные сверхвысокого разрешения изображения морфологии поверхности.

Scios 2 может поставляться в низковакуумном исполнении, что в сочетании с широким диапазоном токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большой камерой для образцов, мульти-функциональным столиком и широким выбором детекторов позволяет использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.

Тип микроскопа Двухлучевая система
Тип образцов Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие
Разрешение от 0.8
Разрешение до 30
Область сканирования от 0
Область сканирования до 150
Особенности NICol: неиммерсионная колонна FESEM сверхвысокого разрешения Колонна автоэмиссионного SEM высокого разрешения:
  • Высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки
  • Срок службы источника 12 месяцев
  • Простые установка и обслуживание пушки — автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения
  • Автоматизированные нагреваемые апертуры
  • Непрерывное регулирование тока пучка и оптимизированная апертура
  • Двухступенчатое обнаружение при сканировании
  • Линза с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы
  • Геометрия линзы объектива 60°
  • Подсказки для пользователя и предустановки
  • Ионная колонна Sidewinder
  • Жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока
  • Срок службы источника: гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА
  • Ускоряющее напряжение: от 500 В до 30 кВ
  • Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней
  • Стандартное гашение пучка
  • Апертурная полоса с 15 положениями
  • Увеличение: 40×-1,28Mх в зависимости от светофильтра
  • Режим подавления смещения входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов
  • Формирование изображения в высоком вакууме, оптимальное рабочее расстояние
  • 3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок)
  • 5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок)
  • Максимальная ширина горизонтального поля: 4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде)
  • Особо широкая зона видимости (1х), достигаемая благодаря стандартному навигационному монтажу
Характеристики электронной пушки · Формирование изображения в высоком вакууме при оптимальном рабочем расстоянии:
— 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
— 1,0 нм при 15 кВ
— 1,6 нм при 1 кВ
·· Диапазон тока пучка: от 1 пА до 400 нA
·· Диапазон контактной энергии: от 20 В до 30 кВ*
·· Диапазон ускоряющего напряжения: от 350 В до 30 кВ
Предметный столик Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 110×110 мм
Воспроизводимость результатов: Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: −15° / +90°
Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика
Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Максимальный размер образца: Ø120 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
Детекторы ·· Система обнаружения Trinity (внутрилинзовая и встроенная в колонну)
-- - T1 сегментированный нижний внутрилинзовый детектор
— T2 верхний внутрилинзовый детектор
— T3 выдвижной, встроенный в колонну детектор*
— До четырёх одновременно обнаруживаемых сигналов
·· Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли
·· ICE-детектор (вторичные электроны и ионы)*
·· Выдвижной сегментированный BSED-детектор с направленным обратным рассеянием*
·· Выдвижной сегментированный STEM-детектор (BF, DF, HADF, HAADF)*
·· IR-CCD
·· Камера Nav-Cam™, установленная в камере*
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция