Двулучевой микроскоп Scios 2
Система Scios 2 DualBeam является идеальным решением для удовлетворения потребностей ученых и инженеров в передовых исследованиях и анализе в академических, профильных, университетских и промышленных исследовательских средах. Прибор обеспечивает лучшую в своем классе производительность при подготовке ПЭМ-образцов и трехмерной характеризации материалов для самого широкого спектра образцов, включая магнитные и непроводящие материалы, когда требуется высокое разрешение и широкие аналитические возможности.
Колонна сфокусированного ионного пучка (FIB) Thermo Scientific Sidewinder ™ HT не только обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и травление на высоких ускоряющих напряжениях, но также имеет великолепные характеристики на низких ускоряющих напряжениях, что позволяет изготавливать высококачественные ПЭМ-образцы. Комплексное программное обеспечение Thermo Scientific AutoTEM™ 4 позволяет в автоматическом режиме быстро и легко подготовить ламели из широкого спектра образцов и материалов для ПЭМ сверхвысокого разрешения.
Система Scios 2 DualBeam с дополнительным программным обеспечением Thermo Scientific Auto Slice & View™ 4 обеспечивает высококачественное, полностью автоматизированное получение мультимодальных 3D данных, включая, среди прочего, визуализацию в BSE для максимального контраста материалов, энергодисперсионную спектроскопию (EDS) и дифракцию обратного рассеяния электронов (EBSD) для получения элементной, микроструктурной и кристаллографической информации, в том числе в 3D. В сочетании с программным обеспечением Thermo Scientific Avizo ™ система Scios 2 представляет собой уникальное решение для рабочих процессов с высоким разрешением c расширенными 3D-возможностями и анализом в нанометровом масштабе.
Уникальная технология детектирования Thermo Scientific Trinity ™, встроенная в линзу, в сочетании с системой торможения пучка может одновременно детектировать низкоэнегретичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода и позволяет получать высококонтрастные сверхвысокого разрешения изображения морфологии поверхности.
Scios 2 может поставляться в низковакуумном исполнении, что в сочетании с широким диапазоном токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большой камерой для образцов, мульти-функциональным столиком и широким выбором детекторов позволяет использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.
| Тип микроскопа | Двухлучевая система |
| Тип образцов | Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие |
| Разрешение от | 0.8 |
| Разрешение до | 30 |
| Область сканирования от | 0 |
| Область сканирования до | 150 |
| Особенности | NICol: неиммерсионная колонна FESEM сверхвысокого разрешения Колонна автоэмиссионного SEM высокого разрешения:
|
| Характеристики электронной пушки | · Формирование изображения в высоком вакууме при оптимальном рабочем расстоянии: — 0,8 нм при 30 кВ (STEM) — 1,0 нм при 15 кВ — 1,6 нм при 1 кВ ·· Диапазон тока пучка: от 1 пА до 400 нA ·· Диапазон контактной энергии: от 20 В до 30 кВ* ·· Диапазон ускоряющего напряжения: от 350 В до 30 кВ |
| Предметный столик | Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик Перемещение в плоскости XY: 110×110 мм Воспроизводимость результатов: Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм Поворот: n x 360° Наклон: −15° / +90° Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) Максимальный размер образца: Ø120 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |
| Детекторы | ·· Система обнаружения Trinity (внутрилинзовая и встроенная в колонну) -- - T1 сегментированный нижний внутрилинзовый детектор — T2 верхний внутрилинзовый детектор — T3 выдвижной, встроенный в колонну детектор* — До четырёх одновременно обнаруживаемых сигналов ·· Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли ·· ICE-детектор (вторичные электроны и ионы)* ·· Выдвижной сегментированный BSED-детектор с направленным обратным рассеянием* ·· Выдвижной сегментированный STEM-детектор (BF, DF, HADF, HAADF)* ·· IR-CCD ·· Камера Nav-Cam™, установленная в камере* |
Фото продукции
