Ионный микроскоп V400ACE FIB

Фото продукции
  • Описание
  • Технические характеристики
  • Видео
  • Скачать
V400ACE FIB объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и точечного позиционирования для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного производства интегральных схем. Система позволяет производителям полупроводниковых схем развести проводящие дорожки и протестировать работу измененных схем в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин традиционными методами. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает непревзойденные возможности при непрерывной работе в диапазоне ускоряющего напряжения от 30 кВ до 0,5 кВ. Высокая плотность тока при травлении при ускоряющем напряжении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.
Особенности •Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения
•Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхности для более быстрого и точного травления
•Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа
•Разрешение изображения 4,5 нм при ускоряющем напряжении 0,5 кВ - 30 кВ
Характеристики электронной пушки Ионная оптика:
•Ионная колонна Tomahawk. Источник ионов на базе жидкого галлия для применения в высоком вакууме.
•Разрешение: 4,5 нм
•Ускоряющее напряжение: От 0,5 кВ до 30 кВ
•Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA
Предметный столик •Тип: Вцентрический столик с пьезоприводом, моторизованный по 5 осям
•Ход по осям X и Y: 100 х 100 мм
• Поворот: n x 360°
•Наклон: -10° …+60°
Похожая продукция
Центральный офис в г. Москва +7 (495) 781-07-85 info@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Санкт-Петербург +7 (812) 380-84-85 infospb@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Екатеринбург +7 (343) 287-12-85 infoural@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Киев +38 (044) 454-05-90 infoua@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Tallinn +372 5620-3281 info@melytec.ee Детальный просмотр