| Особенности | • Электронная колонна высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, включает:
- Высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью
- Комбинированная конечная линза: сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы.
- Угол объективной линзы в 60°: позволяет наклонять большие образцы
• Автоматически очищаемые за счет подогрева диафрагмы обеспечивают стабильную работу
• Дифференциальная откачка через линзу для низкого вакуума уменьшает расщепление пучка электронов, что увеличивает точность анализа и разрешающую способность.
• Функция замедления пучка с диапазоном от -4000 В до +600 В
• Непрерывный контроль тока пучка и оптимизированный угол раскрытия конечной линзы
• Двухступенчатая технология отклонения пучка
• Простота в установке и настройке пушки, техническое обслуживание – авто отжиг пушки, авто старт, отсутствуют механических юстировок.
• Гарантированное время жизни источника: 12 месяцев. |
| Характеристики электронной пушки | • Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим
- 0,8 нм при 30кВ (STEM)
- 0,9 нм при 15 кВ
- 1,0 нм при 1 кВ
- 1,2 нм при 500 В
- 2,5 нм при 100 В
• Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля
- 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
- 1,0 нм при 15 кВ
- 1,3 нм при 1 кВ
• В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля
- 1,2 нм при 15 кВ
- 1,8 нм при 3 кВ |
| Предметный столик | Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм
Воспроизводимость результатов: < 3,0 мкм (при наклоне 0°)
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +90°
Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика
Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Максимальный размер образца: Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
• Стандартно поставляется уникальный стол-держатель для различных задач, на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°), при этом не требуется инструментов для установки образцов.
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу |
| Рабочая камера | • Внутренняя ширина: 340 мм
• Аналитическая рабочая дистанция: 10 мм
• Установка до трех детекторов EDS, два из которых расположены друг напротив друга (под углом 180°)
• Копланарное расположенные (в одной плоскости) EDS/EBSD и осью наклона столика |
| Детекторы | Apreo может регистрировать до четырех сигналов одновременно из любой комбинации из имеющихся детекторов или сегментов детектора.
• Тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны)
- Т1 – нижний внутрилинзовый детектор, разделенный на сегменты
- Т2 – верхний внутрилинзовый детектор
- T3 – внутриколонный детектор
• ETD – детектор вторичных электронов Верхарта-Торнли
• DBS – выдвижной сегментированный детектор ООЭ
• Детектор вторичных электронов для низкого вакуума
• DBS-GAD монтирующийся на линзу газовый аналитический детектор ООЭ
• STEM 3+ - выдвижной сегментированный детектор для просвечивающей микроскопии (BS, DF, HADF, HAADF)
• Инфракрасная камера для контроля положения образца
• Nav-Cam+ цветная цифровая камера для простой навигации по образцу |
| Вакуумная система | • Безмасляная вакуумная система
• 1х220 л/с TMP (турбомолекулярный насос)
• 1хPVP (форвакуумный насос)
• 2 ионно-геттерных насоса
• Уровень вакуума в камере (высокий) < 6,3e–6 мбар (после 72 часов откачки)
• Время откачки: ≤3,5 мин
• Режим низкого вакуума (опционально)
• Давление в камере при низком вакууме от 10 до 500 Па
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу |
| Дополнительные аналитические возможности | • Система очистки образца/камеры: система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI
• Анализ: EDS, EBSD, WDS, CL, Raman
• Система быстрой загрузки образца QuickLoader
• Навигация: Навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS
Газовая инжекционная система (GIS) FEI: до 2 устройств (другие опции могут ограничить количество доступных систем GIS) для осаждения следующих материалов:
- Платина
- Вольфрам
- Углерод
• Манипуляторы
• Криостолик
• Электрическое зондирование
• Электростатическая блокировка пучка |
| Управление системой | • 64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7, клавиатура, оптическая мышь
• 24-дюймовый ЖК-монитор, WUXGA 1920 x 1200 (второй монитор – опция
• Настраиваемый графический интерфейс с возможностью выбора до 4-х одновременно активных окон
• Регистрация изображения
• Встроенная навигация
• Программное обеспечение для анализа изображения
• Функция отмены и повтора (после отмены) действия
• Гид пользователя для простых операций/приложений
• Джойстик (опционально)
• Многофункциональное контрольное устройство управления (опционально) |
| Получение изображений | • Время получения изображения 0,025 – 25000 мкс/пикс.
• Размер до 6144 х 4096 пикс.
• Тип файла: TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• Технология сканирования SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном)
• DCFI (компенсация дрейфа) |
| Доступные программные функции | • Система для автоматизированного получения больших изображений и корреляционной работы MAPS
• iFast для дополнительно автоматизации
• Программное обеспечение для архивации данных в сети
• Программное обеспечение для анализа изображений |
| Системные опции | • Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°)
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу* |
| Требования по установке | • Электропитание:
- напряжение 100 - 240 В (+6%, –10%)
- частота 50 или 60 Гц (+/–1 %)
- Потребляемая мощность: < 3,0 кВА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: < 0,1 Ом
• Условия эксплуатации:
- температура (20±3) °C
- относительная влажность не более 80% (без конденсата)
- уровень паразитных ЭМП с переменным напряжением: < 40 нТ асинхронные поля, < 100 нТ синхронные поля
• Габариты дверного проёма: 0,9 м (ширина) х 1,9 м (высота)
• Вес микроскопа с колонной: 980 кг
• Рекомендуется чистый азот для напуска в систему
• Сжатый воздух (4 – 6) бар. Должен быть чистый, сухой и не содержать масла.
• Система охлаждения - наличие
• Уровень шума (требуется обследование места установки)
• Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации)
• Виброизоляционный стол поставляется по доп. заказу |
