Сканирующий микроскоп FEI Apreo

Сканирующий электронный микроскоп Apreo — это высокопроизводительная платформа с автоэмиссионным катодом Шоттки, предназначенная для исследования самых различных наноматериалов и устройств: наночастицы, катализаторы, порошки, чипы, МЭМС и т.д. Прибор отлично подходит для работы на больших увеличениях с магнитными образцами, а благодаря режиму низкого вакуума (до 500 Па, опция) и с диэлектриками.

Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо с магнитной иммерсией. Впервые прибор от Thermo Fisher Scientific объединяет оба решения в одном инструменте. Благодаря формированию пучка в тонкий зонд при низких ускоряющих напряжениях, прибор имеет лучшую разрешающую способность и дополнительные уникальные возможности для фильтрации сигналов. Комбинированная линза обеспечивает разрешение 0,8 нм при 1 кВ и 1,8 нм при 100 В (с функцией замедления пучка) без использования монохроматора.

Для получения высококонтрастных качественных изображений прибор оснащён уникальной внутрилинзовой/внутриколонной системой детектирования Thermo Scientific Trinity™, способной одновременно детектировать низкоэнегретичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода, что позволяет получать высококонтрастные сверхвысокого разрешения изображения морфологии поверхности.

Широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большая камера для образцов, мульти-функциональный столик, широкий выбор детекторов и возможность работы в режиме низкого вакуума позволяют использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.

Тип микроскопа Сканирующий
Тип образцов Влажные, Магнитные, Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие
Разрешение от 0.8
Разрешение до 2.9
Область сканирования от 0
Область сканирования до 110
Особенности
  • Электронная колонна высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, включает:
    • Высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью
    • Комбинированная конечная линза: сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы.
    • Угол объективной линзы в 60°: позволяет наклонять большие образцы
  • Автоматически очищаемые за счет подогрева диафрагмы обеспечивают стабильную работу
  • Дифференциальная откачка через линзу для низкого вакуума уменьшает расщепление пучка электронов, что увеличивает точность анализа и разрешающую способность.
  • Функция замедления пучка с диапазоном от −4000 В до +600 В
  • Непрерывный контроль тока пучка и оптимизированный угол раскрытия конечной линзы
  • Двухступенчатая технология отклонения пучка
  • Простота в установке и настройке пушки, техническое обслуживание — авто отжиг пушки, авто старт, отсутствуют механических юстировок.
  • Гарантированное время жизни источника: 12 месяцев.
Характеристики электронной пушки

Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим

  • 0,8 нм при 30кВ (STEM)
  • 0,9 нм при 15 кВ
  • 1,0 нм при 1 кВ
  • 1,2 нм при 500 В
  • 2,5 нм при 100 В

Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля

  • 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
  • 1,0 нм при 15 кВ
  • 1,3 нм при 1 кВ

В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля

  • 1,2 нм при 15 кВ
  • 1,8 нм при 3 кВ
Предметный столик

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм
Воспроизводимость результатов: < 3,0 мкм (при наклоне 0°)
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +90°
Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика
Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Максимальный размер образца: Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
Стандартно поставляется уникальный стол-держатель для различных задач, на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°), при этом не требуется инструментов для установки образцов.
Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Детекторы

Apreo может регистрировать до четырех сигналов одновременно из любой комбинации из имеющихся детекторов или сегментов детектора.

  • Тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны)
    • Т1 — нижний внутрилинзовый детектор, разделенный на сегменты
    • Т2 — верхний внутрилинзовый детектор
    • T3 — внутриколонный детектор
  • ETD — детектор вторичных электронов Верхарта-Торнли
  • DBS — выдвижной сегментированный детектор ООЭ
  • Детектор вторичных электронов для низкого вакуума
  • DBS-GAD монтирующийся на линзу газовый аналитический детектор ООЭ
  • STEM 3+ — выдвижной сегментированный детектор для просвечивающей микроскопии (BS, DF, HADF, HAADF)
  • Инфракрасная камера для контроля положения образца
  • Nav-Cam+ цветная цифровая камера для простой навигации по образцу
Подробнее

Похожая продукция