Сканирующий электронный микроскоп Apreo 2

Сканирующий электронный микроскоп Apreo 2 — это второе поколение популярной высокопроизводительной платформы с автоэмиссионным катодом Шоттки от компании Thermo Fisher Scientific. Прибор предназначен для исследования самых различных наноматериалов и устройств: металлов, наночастиц, катализаторов, порошков, чипов, МЭМС и т. д. Микроскоп отлично подходит для работы на больших увеличениях с магнитными образцами, а благодаря режиму низкого вакуума (до 500 Па, опция) — и с диэлектриками.

Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо линзами с магнитной иммерсией. Микроскоп от Thermo Fisher Scientific объединяет оба решения в одном приборе. Благодаря формированию пучка в тонкий зонд при низких ускоряющих напряжениях прибор имеет лучшую разрешающую способность и дополнительные уникальные возможности для фильтрации сигналов. Комбинированная линза обеспечивает разрешение вплоть до 0,5 нм при 15 кВ и 0,8 нм при 500 В (с функцией замедления пучка) без использования монохроматора.

Для получения высококонтрастных качественных изображений прибор оснащен уникальной внутрилинзовой/внутриколонной системой детектирования Thermo Scientific Trinity™, способной одновременно детектировать низкоэнергетичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода, что позволяет получать изображения морфологии поверхности, обладающие высоким контрастом и сверхвысоким разрешением. Широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большая камера для образцов, мультифункциональный столик, широкий выбор детекторов и возможность работы в режиме низкого вакуума позволяют использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.

Основные преимущества:

  • Нанометровое и субнанометровое разрешение на различных материалах — от наночастиц, порошков, катализаторов и наноустройств до объемных металлических и магнитных образцов.
  • Высокоточный детектор обратно-рассеянных электронов гарантирует исключительную контрастность материалов даже при низком напряжении и токе пучка, при любых углах наклона и на чувствительных образцах на ТВ-развертке.
  • Непревзойденная гибкость системы детектирования TrinityTM позволяет пользователям повышать контраст или интенсивность сигнала путем объединения информации с отдельных сегментов детектора.
  • Самый широкий диапазон стратегий снижения заряда, включая режим низкого вакуума с давлением в камере до 500 Па, чтобы обеспечить визуализацию любого образца.
  • Превосходная аналитическая платформа, обладающая малым размером пятна при высоких напряжениях и токах. В камеру можно установить до трех ЭДС-детекторов. Обеспечена копланарность ЭДС/EBSD и оптимизация для режима низкого вакуума.
  • Удобство управления и навигации с помощью мультифункционального держателя образцов и навигационной камеры Nav-Cam+.
  • Расширенные пользовательские инструкции, предварительные установки и функция отмены помогают новым пользователям в освоении прибора.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 11 нм – 100 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 0,5
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 400
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Наличие
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 122
Ход по осям X и Y, мм 110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 3,0
Ход по оси Z, мм 65
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Опция
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Опция
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Опция
Интегрированная система измерения тока луча Опция
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Опция
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Наличие
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Наличие
T3 – внутриколонный детектор Наличие
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Нет
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Наличие
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па 500
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Похожая продукция