Сканирующий электронный микроскоп Apreo 2

Apreo 2 представляет второе поколение популярной высокопроизводительной платформы с автоэмиссионным катодом Шоттки от компании Thermo Fisher Scientific и предназначен для исследования самых разных наноматериалов и устройств. Прибор также отлично подходит для работы с магнитными образцами, а благодаря режиму низкого вакуума и с диэлектриками. Комбинированная (представляющая собой сочетание электростатической и электромагнитной иммерсионной линз) линза обеспечивает разрешение вплоть до 0,5 нм при 15 кВ и 0,8 нм при 500 В без использования монохроматора. Уникальная внутрилинзовая система детектирования Trinity™ способна одновременно детектировать вторичные, обратно-отраженные и низкоэнергетичные электроны (от 20 эВ), что обеспечивает дополнительную фильтрацию сигнала. Широкий диапазон токов, большая вакуумная камера, мультифункциональный столик, широкий выбор опций и возможность работы в режиме низкого вакуума позволяют использовать прибор в качестве аналитической системы в широком спектре применений.

Основные преимущества:

  • нанометровое и субнанометровое разрешение на различных материалах;
  • исключительная контрастность изображения поверхности образца даже при низком напряжении и токе пучка при любых углах наклона;
  • внутрилинзовая система детектирования Trinity™ обеспечивает фильтрацию и микширование необходимых сигналов;
  • снижение заряда поверхности благодаря режиму низкого вакуума с давлением в камере до 500 Па;
  • установка до трех ЭДС-детекторов. Обеспечена оптимизация для режима низкого вакуума;
  • полная автоматизация настроек оптики и изображения.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 11 нм – 100 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 0,5
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 400
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Наличие
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 122
Ход по осям X и Y, мм 110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 3,0
Ход по оси Z, мм 65
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Опция
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Опция
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Опция
Интегрированная система измерения тока луча Опция
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Опция
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Наличие
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Наличие
T3 – внутриколонный детектор Наличие
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Нет
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Наличие
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па 500
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Похожая продукция