Сканирующий микроскоп FEI Apreo 2

• Электронная колонна высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, включает:
  • Высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью
  • Комбинированная конечная линза: сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы.
  • Угол объективной линзы в 60°: позволяет наклонять большие образцы
• Автоматически очищаемые за счет подогрева диафрагмы обеспечивают стабильную работу
• Дифференциальная откачка через линзу для низкого вакуума уменьшает расщепление пучка электронов, что увеличивает точность анализа и разрешающую способность.
• Функция замедления пучка с диапазоном от −4000 В до +600 В
• Непрерывный контроль тока пучка и оптимизированный угол раскрытия конечной линзы
• Двухступенчатая технология отклонения пучка
• Простота в установке и настройке пушки, техническое обслуживание — авто отжиг пушки, авто старт, отсутствуют механических юстировок.
• Гарантированное время жизни источника: 12 месяцев.

Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим

• 0,8 нм при 30кВ (STEM)
• 0,9 нм при 15 кВ
• 1,0 нм при 1 кВ
• 1,2 нм при 500 В
• 2,5 нм при 100 В

Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля

• 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
• 1,0 нм при 15 кВ
• 1,3 нм при 1 кВ

В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля

• 1,2 нм при 15 кВ
• 1,8 нм при 3 кВ

Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 110 x 110 мм
Воспроизводимость результатов: < 3,0 мкм (при наклоне 0°)
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +90°
Максимальная высота образца: Расстояние 85 мм до точки Вцентрика
Максимальный вес образца: 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Максимальный размер образца: Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
Стандартно поставляется уникальный стол-держатель для различных задач, на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°), при этом не требуется инструментов для установки образцов.
Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
Держатель печатных плат и другие держатели по заказу

Apreo может регистрировать до четырех сигналов одновременно из любой комбинации из имеющихся детекторов или сегментов детектора.

• Тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны)
  • Т1 — нижний внутрилинзовый детектор, разделенный на сегменты
  • Т2 — верхний внутрилинзовый детектор
  • T3 — внутриколонный детектор
• ETD — детектор вторичных электронов Верхарта-Торнли
• DBS — выдвижной сегментированный детектор ООЭ
• Детектор вторичных электронов для низкого вакуума
• DBS-GAD монтирующийся на линзу газовый аналитический детектор ООЭ
• STEM 3+ — выдвижной сегментированный детектор для просвечивающей микроскопии (BS, DF, HADF, HAADF)
• Инфракрасная камера для контроля положения образца
• Nav-Cam+ цветная цифровая камера для простой навигации по образцу