Сканирующий электронный микроскоп Axia ChemiSEM

Axia ChemiSEM — сканирующий электронный микроскоп нового поколения. Это всегда готовая к работе платформа с уникальным элементным EDS-картированием в режиме реального времени, что делает ее хорошим выбором для быстрого анализа — даже для пользователей, плохо знакомых с растровой электронной микроскопией.
Thermo Scientific™ Axia™ ChemiSEM предлагает новую концепцию обработки и представления информации о составе образца, основанную на подходе единого генератора сканирования, который идеально настраивает и изображение SEM, и изображение EDS, что приводит к более четким и менее зашумленным результатам. Кроме того, новая технология обработки информации с адаптивным формированием импульсов обеспечивает генерацию данных с помощью алгоритма количественной оценки. Так формируется достоверная информация об элементном составе без искажений от наложения пиков, что типично для необработанных карт элементов. Кроме того, запатентованный алгоритм обнаружения теней помогает получать информацию только из областей, где обнаруживаются рентгеновские лучи.

Axia ChemiSEM — это платформа с уникальной технологией колонны, которая позволяет собирать данные, ориентированные на получение результата, и всегда готова к работе. Прибор включает новое руководство пользователя, которое обеспечивает интерактивный подход к управлению прибором. Система EDS, интегрированная для максимальной эффективности в пользовательский интерфейс, обеспечивает удобный доступ ко всем элементам управления.

Благодаря новой конструкции Axia ChemiSEM обеспечивает возможность размещения больших образцов весом до 10 кг и предоставляет доступ ко всей камере. Это позволяет сэкономить время на нарезку образцов и избежать длительной и бесполезной пробоподготовки образцов.

Режим низкого вакуума (до 150 Па) дает несколько преимуществ при работе с непроводящими образцами. Он не только позволяет получать изображения без заряда, но и повышает контраст изображений образца, а также дает возможность использовать более высокие токи пучка для выполнения элементного анализа. Программное обеспечение Thermo Scientific SEM предоставляет Axia ChemiSEM множество опций для автоматизации системы. Кроме того, ПО Thermo Scientific AutoScript ™ дает возможность разрабатывать индивидуальные рабочие процессы. Прибор прост в обслуживании. Замена источника в Axia ChemiSEM может быть выполнена пользователями с любым уровнем опыта. Его конструкция обеспечивает длительное время безотказной работы и быстрый сервис тогда, когда это нужно (в случае необходимости).

Основные преимущества:

  • Доступность даже при ограниченном бюджете: широкие аналитические возможности уже в базовой комплектации.
  • Платформа, всегда готовая к использованию: позволяет сосредоточиться на сборе и анализе данных, а не на настройках микроскопа.
  • Сокращение времени обработки данных: предлагает несколько стратегий обработки изображений и сканирования для оптимизации получения изображений и увеличения пропускной способности.
  • Гибкая геометрия: возможность размещения больших образцов (до 10 кг) благодаря широкой двери, обеспечивающей доступ ко всей камере.
  • Превосходные характеристики изображения: режим низкого вакуума и снижение заряда с помощью системы торможения пучка.
  • Удобство использования и доступ к максимальным характеристикам для специалистов любого уровня подготовки.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 101 нм – 100 мкм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Термоэмиссионный (вольфрамовый)
Максимальное разрешение (SE), нм 3
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 2 000
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Нет
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Наличие
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 10 000
Максимальный размер образца, Ø мм 138
Ход по осям X и Y, мм 120 × 120
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 5,0
Ход по оси Z, мм 55
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 280
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Наличие
Интегрированная система измерения тока луча Нет
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Опция
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Нет
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Наличие
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Нет
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Нет
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Наличие
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁵
Низкий вакуум, Па 150
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Нет
Плазменная очистка камеры Нет
Литография Нет
Крио-СЭМ Нет
ГИС Нет
Манипулятор Нет
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Наличие
Джойстик для управления столиком Нет
Столик для охлаждения Нет
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Нет
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Наличие
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Наличие
FLASH Нет
SmartAlign Technology Нет
Pattern generation software Нет
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Нет
Web-enabled data archive Нет
Подробнее

Похожая продукция