Сканирующий электронный микроскоп Axia ChemiSEM

Axia ChemiSEM - микроскоп нового поколения, всегда готовый к работе даже для пользователей, мало знакомых с СЭМ. Прибор предлагает новую концепцию обработки и представления информации о составе образца в режиме реального времени, которая идеально настраивает и изображение СЭМ, и изображение ЭДС. Кроме того, новая технология обработки информации с адаптивным формированием импульсов позволяет получать достоверную информацию об элементном составе без искажений от наложения пиков и теней. Прибор обеспечивает размещения больших образцов весом до 10 кг и предоставляет доступ ко всей камере. Режим низкого вакуума позволяет работать с непроводящими образцами и использовать более высокие токи пучка для проведения элементного анализа. Прибор прост в обслуживании. Его конструкция обеспечивает длительное время безотказной работы, а замена катода и настройка колонны и оптики могут быть выполнены пользователем с любым уровнем опыта.

Основные преимущества:

  • доступность даже при ограниченном бюджете;
  • ЭДС, полностью интегрированный в СЭМ и работающий в режиме реального времени;
  • возможность размещения больших образцов (высота до 128 мм) весом до 10 кг;
  • широкие аналитические и функциональные возможности уже в базовой комплектации;
  • удобство использования и доступ к максимальным характеристикам для исследователей любого уровня подготовки.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 101 нм – 100 мкм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Термоэмиссионный (вольфрамовый)
Максимальное разрешение (SE), нм 3
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 2 000
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Нет
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Наличие
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 10 000
Максимальный размер образца, Ø мм 138
Ход по осям X и Y, мм 120 × 120
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 5,0
Ход по оси Z, мм 55
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 280
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Наличие
Интегрированная система измерения тока луча Нет
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Опция
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Нет
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Наличие
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Нет
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Нет
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Наличие
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁵
Низкий вакуум, Па 150
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Нет
Плазменная очистка камеры Нет
Литография Нет
Крио-СЭМ Нет
ГИС Нет
Манипулятор Нет
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Наличие
Джойстик для управления столиком Нет
Столик для охлаждения Нет
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Нет
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Наличие
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Наличие
FLASH Нет
SmartAlign Technology Нет
Pattern generation software Нет
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Нет
Web-enabled data archive Нет
Подробнее

Похожая продукция