Сканирующий электронный микроскоп Prisma

СЭМ Prisma E — высокопроизводительный прибор, созданный для решения задач академических и промышленных лабораторий, когда первостепенное значение имеет простота использования и все возможности системы должны быть доступны для операторов любого уровня подготовки. Микроскоп имеет тетродную электронную пушку с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, обеспечивающую разрешение до 3 нм. Высокая разрешающая способность сочетается с прекрасным контрастом изображения благодаря наличию современных сверхчувствительных детекторов. Три вакуумных режима — высокий, низкий и режим естественной среды (ESEM) — позволяют анализировать практически любые образцы, в том числе жирные, влажные, газящие и непроводящие, без какой-либо пробоподготовки. Уникальное сочетание доступного универсального прибора с широким набором детекторов и опций делает Prisma E идеальным решением для исследований в любой области науки и производства.

Основные преимущества:

  • исследование материалов in-situ в их естественном состоянии;
  • низкий вакуум и режим ESEM позволяют получать изображения непроводящих, влажных, жирных и газящих образцов;
  • динамические эксперименты в точке росы (влажность 100 %) и при температурах от -165° С до +1400° С.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 101 нм – 100 мкм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Термоэмиссионный (вольфрамовый)
Максимальное разрешение (SE), нм 3
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 2 000
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Опция
На 18 держателей 12 мм Наличие
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 122
Ход по осям X и Y, мм 110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 3,0
Ход по оси Z, мм 65
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Опция
Интегрированная система измерения тока луча Опция
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Наличие
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Наличие
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Опция
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Нет
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па 200
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па 4 000
Безмасляная вакуумная система Опция
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Опция
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Наличие
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция