Сканирующий микроскоп FEI Quanta 650

Фото продукции
  • Описание
  • Технические характеристики
  • Видео
  • Скачать

Микроскопы Quanta 650 обеспечивают полное представление о любом образце: изображения в композиционном и топографическом режимах можно легко дополнить определением свойств материала и его элементного состава, установив вспомогательное оборудование. Доступны три режима работы: высокий вакуум, низкий вакуум и режим естественной среды. Большая и просторная камера позволяет исследовать габаритные образцы. Перемещение стола достигает 150 мм по осям. Разрешающая способность достигает 3 нм.

Отвечая на вызовы научной работы наших дней, микроскопы серии Quanta не ограничивают исследователя, позволяя получать высококачественные изображения и достоверные результаты анализа при работе с самыми сложными материалами.

Особенности • Высокопроизводительная термоэмиссионная колонна SEM с двуханодной геометрией электронной пушки
• Неподвижная апертура объектива для простоты эксплуатации
• Линза объектива 45° с дифференциальной откачкой через линзу и подогреваемые апертуры объектива
• Максимальная ширина поля зрения: 6,5 мм при аналитическом рабочем расстоянии (10 мм); 11,3 мм при рабочем расстоянии 25 мм
Нанохарактеризация
• Металлы и сплавы, окисление/коррозия, трещины, сварные швы, шлифы, магнитные и сверхпроводящие материалы
• Керамики, композитные материалы, пластмассы
• Плёнки/покрытия
• Петрографические шлифы, минералы
• Мягкие материалы: полимеры, фармацевтические препараты, фильтры, гели, ткани, растительные материалы
• Частицы, пористые материалы, волокна
Нанопроцессы in situ
• Гидратация/дегидратация
• Анализ поведения материала при увлажнении/контактного угла
• Окисление/коррозия
• Предел прочности при растяжении (при нагреве или охлаждении)
• Кристаллизация/фазовый переход
Нанопрототипирование
• Электронно-лучевая литография (EBL)
• Осаждение, индуцированное электронным пучком (EBID)
Характеристики электронной пушки • Высокий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 8,0 нм при 3 кВ (SE)
• Высокий вакуум в режиме торможения пучка
- 7,0 нм при 3 кВ (режим BD* + vCD*)
• Низкий вакуум
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
- 4,0 нм при 30 кВ (BSE)*
- 10,0 нм при 3 кВ (SE)
• Режим естественной среды (ESEM)
- 3,0 нм при 30 кВ (SE)
• Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ
• Ток зонда: до 2 мкА с плавной регулировкой
• Увеличение: 13–1 000 000 x
Предметный столик Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY: 150 x 150 мм
Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм
Воспроизводимость результатов: 2 мкм
Зазор по оси Z: 93,5 мм
Поворот: n x 360°
Наклон: -15° / +70°
Вцентрический наклон на высоте 29,3 мм для любых рабочих расстояний
Рабочая камера • Ширина: 379 мм
• Аналитическое рабочее расстояние 10 мм
• Количество портов: 8
• Угол выхода для детектора EDS: 35°
Детекторы • Детектор вторичных электронов (SED) Верхарта — Торнли
• Низковакуумный детектор вторичных электронов большого поля (LFD)
• Газовый детектор вторичных электронов (GSED) (используется в режиме ESEM)
• Высокочувствительный низковольтный детектор обратно отраженных электронов SS-BSED*ИК-камера для контроля положения образца в камере
• Газовый детектор обратно отраженных электронов для обнаружения при высоком давлении в режиме ESEM*
• 4-квадрантный твердотельный детектор обратно отраженных электронов*
• Cсцинтиллятор BSED/CLD*
• vCD (низковольтный высококонтрастный детектор)*
• Измерение тока электронного пучка*
• Газовый аналитический BSED (GAD)*
• Детектор прошедших электронов (STEM)*
• Nav-CamTM — цветная оптическая камера для навигации по образцу*
Вакуумная система • 1 x 250 л/с TMP (турбомолекулярный насос), 1 x PVP (форвакуумный насос)
• Запатентованный способ дифференциальной откачки через линзу
• Длина пути пучка в газе: 10 мм или 2 мм
• Возможность установки безмасляного винтового/сухого PVP по дополнительному заказу
• Вакуумная камера (высокий) • Вакуумная камера (низкий) • Режим ESEM • Время откачки: ≤150 с до высокого вакуума и ≤270 с до ESEM (стандартные процедуры испытаний FEI
Дополнительные аналитические возможности • EDS
• WDS
• EBSD
• Криостолик
• Катодолюминесценция
• Прибор для измерения малых токов образца
• Наноманипуляторы
• Системы для литографии
• CAD-навигация
• Электрическое зондирование
Управление системой • 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows®XP, клавиатура, оптическая мышь
• Один 19-дюймовый ЖК-монитор, SVGA 1280 x 1024
•  MagicSwitchTM (переключатель, контролируемый с ПК)*
• Джойстик*
• Ручной пользовательский интерфейс*
Получение изображений • Разрешение до 4096 x 3536 пикселей (≈14Mpix)
• Тип файла: TIFF (8- или 16-битный), BMP, JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• 4-квадранта, прямая трансляция
• Прямое или статическое смешение сигналов в цвете или градациях серого
• усреднение или интегрирование 256 кадров
• Запись цифрового видеоизображения (.avi)
• Гистограмма изображения и измерительное программное обеспечение
Доступные программные функции • Технология сканирования SmartSCAN
• Автоматическая сшивка изображений
• Программное терморегулирование
• Интервальное получение изображений в 1–4 квадрантах
• Функция сохранения нескольких изображений
• Программная утилита FEI Movie Creator (создание специального .avi-файла на основе автоматически полученной серии TIFF-изображений)
• Функциональные возможности большого окна изображения (отображает изображение на отдельном мониторе, обеспечивает возможность отображения двух полноэкранных изображений, полученных от различных детекторов)
Системные опции • Торможение пучка
• Ручной пользовательский интерфейс
• Вспомогательный ПК (включая второй  19-дюймовый монитор)
• Блок переключателей с программным управлением
• Охлаждаемый предметный столик с элементом Пельтье с программным управлением
• Система WetSTEMTM с программным управлением
• Нагреваемый до 1000 °С предметный столик с программным управлением
• Нагреваемый до 1500 °С предметный столик с программным управлением
• Система криогенной очистки Cryocleaner
• Запасная ёмкость для Cryocleaner
• Джойстик
• Измеритель тока образца
• Программное обеспечение для дистанционного управления
• Комплект держателей образцов
• Акустический чехол для вакуумного насоса
• 7- или 52-контактный электрический вывод
• Электростатический бланкер пучка
• Комплект оснащения системой WDS
• Монтажный комплект для спирального форвакуумного насоса
• Вспомогательный газовый набор (для газов вместо воды)
Требования по установке • Электропитание: напряжение 230 В (+6%, –10%), частота 50 или 60 Гц (+/–1 %)
• Потребляемая мощность: • Сопротивление заземления: • Условия эксплуатации: температура (+15…+25) °C, относительная влажность не более 80% (без конденсата), уровень паразитных ЭМП с переменным  напряжением
• Ширина дверного проёма: 90 см
• Вес микроскопа с колонной: 450 кг
• Рекомендуется сухой азот: система (от 0,7 до 0,8 бар, макс 10 л/мин во время вентилирования)
• Уровень шума: • Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола)
• Виброизоляционный стол поставляется по дополнительному заказу
Похожая продукция
Центральный офис в г. Москва +7 (495) 781-07-85 info@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Санкт-Петербург +7 (812) 380-84-85 infospb@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Екатеринбург +7 (343) 287-12-85 infoural@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Киев +38 (044) 454-05-90 infoua@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Tallinn +372 5620-3281 info@melytec.ee Детальный просмотр