Сканирующий электронный микроскоп Quattro

СЭМ Quattro имеет высокое разрешение (до 0,8 нм), которое сочетается с высоким контрастом изображения благодаря автоэмиссионному катоду типа Шоттки и использованию передовых сверхчувствительных детекторов. Три вакуумных режима — высокий, низкий и естественной среды (ESEM) — позволяют анализировать практически любые образцы, в том числе непроводящие, газящие, а также подверженные разрушению под электронным лучом или в высоком вакууме. Режим ESEM является уникальным и незаменимым при работе с жесткими диэлектриками, в особенности при больших увеличениях более 50 000х, а также даёт возможность работать в точке росы (влажность 100 % ) с жирными и влажными образцами. Аналитическая камера внушительных размеров с большим количеством портов для установки аналитических приставок и устройств для динамических экспериментов в сочетании с уникальной вакуумной системой делают СЭМ Quattro универсальной системой для решения мультидисциплинарных, прикладных и исследовательских задач.

Основные преимущества:

  • мультидисциплинарный прибор высокого разрешения с автоэмиссионным катодом Шоттки;
  • исследование материалов in-situ в их естественном состоянии;
  • низкий вакуум и режим ESEM позволяют получать изображения непроводящих, влажных, жирных и газящих образцов;
  • динамические эксперименты в точке росы (влажность 100 % ) и при температурах от -165° С до +1400° С.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение, Науки о живом, Образование. Междисциплинарные научные центры
Направление деятельности 2D-анализ, Биология, Междисциплинарный мультимодальный и мультимасшабный анализ
Объекты интереса 11 нм – 100 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 1
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 200
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Опция
На 18 держателей 12 мм Наличие
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 122
Ход по осям X и Y, мм 110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 3,0
Ход по оси Z, мм 65
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Опция
Интегрированная система измерения тока луча Опция
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Наличие
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Наличие
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Опция
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Наличие
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па 200
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па 4 000
Безмасляная вакуумная система Опция
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Опция
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Опция
Auto Slice&View Опция
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция