Сканирующий электронный микроскоп Quattro

Сканирующий электронный микроскоп Thermo Scientific™ Quattro SEM — это многофункциональная высокопроизводительная система с высоким разрешением и уникальными характеристиками. Прибор предназначен для широкого круга исследований образцов на наноуровне в их естественном состоянии без какой-либо пробоподготовки.

Благодаря катоду Шоттки с полевой эмиссией микроскоп имеет высокое разрешение (до 0,8 нм), которое сочетается с отличным контрастом изображения благодаря использованию передовых сверхчувствительных детекторов. Три вакуумных режима — высокий вакуум, низкий вакуум и режим естественной среды (ESEM) — позволяют анализировать практически любые образцы, в том числе непроводящие, газящие, а также подверженные разрушению под электронным лучом или в высоком вакууме. Благодаря возможности работы во влажной среде, в т. ч. в точке росы (100%-ная влажность), режим ESEM является уникальным и незаменимым инструментом при работе с жесткими диэлектриками, в особенности, при больших увеличениях (более 50 000х), а также жирными и влажными образцами.

Аналитическая камера внушительных размеров с большим количеством портов для установки различных аналитических приставок (до двух EDS, WDS, EBSD, CLA, Raman и т. д.) и устройств для динамических экспериментов (нагрев, охлаждение, крио и т. д.) в сочетании с уникальной вакуумной системой и многофункциональным предметным столом делают Quattro SEM универсальной системой для решения мультидисциплинарных, прикладных и исследовательских задач.

Основные преимущества:

  • Исследование материалов in-situ в их естественном состоянии: уникальный FEG-SEM с высоким разрешением и режимом естественной среды (ESEM).
  • Отсутствие необходимости в пробоподготовке: низкий вакуум и режим ESEM позволяют получать изображения непроводящих, влажных, жирных и газящих образцов.
  • Анализ при температурах от — 165 °С до +1400 °С с помощью криоприставки, столика Пельтье и нагревательного столика для образцов.
  • Отличные аналитические возможности с камерой, позволяющей устанавливать до трех детекторов EDS (два из них разведены на 180°), WDS и устанавливать копланарную EDS/EBSD.
  • Эвцентрический столик с диапазоном наклона до 105° для наблюдения образца с любого ракурса.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение, Науки о живом, Образование. Междисциплинарные научные центры
Направление деятельности 2D-анализ, Биология, Междисциплинарный мультимодальный и мультимасшабный анализ
Объекты интереса 11 нм – 100 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 1
Диапазон ускоряющего напряжения, В 200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 200
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Опция
На 18 держателей 12 мм Наличие
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Нет
Механический Наличие
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 122
Ход по осям X и Y, мм 110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 3,0
Ход по оси Z, мм 65
Поворот, град. 360
Наклон, град. -15 / +90
Ширина камеры, мм 340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 12
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Опция
Интегрированная система измерения тока луча Опция
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Наличие
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Наличие
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Опция
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Наличие
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 6,0 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па 200
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па 4 000
Безмасляная вакуумная система Опция
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Опция
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Опция
Auto Slice&View Опция
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция