Сканирующий микроскоп FEI Verios

Второе поколение XHR SEM (сканирующие электронные микроскопы сверхвысокого разрешения) — флагманской линейки компании Thermo Ficher Scientific. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность достигает 0.6 нм!

Микроскоп Verios абсолютно незаменим при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано узлами, что превращает его в комплексное решение для теоретических исследований, управления технологическими процессами, создания материалов, задач фрактографии, анализа дефектов.

Тип микроскопа Сканирующий
Тип образцов Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие
Разрешение от, нм 0.6
Разрешение до, нм 0.7
Область сканирования от, мм 0
Область сканирования до, мм 100
Особенности FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
• Электронная пушка Elstar, в том числе:
- Термополевой эмиттер Шоттки
- Возможность замены без прерывания работы
- Технология UC (монохроматор)
•  двойная объективная линза с углом  60° с защитой полюсного наконечника
• Нагреваемые апертуры объектива
• Электростатическое сканирование
• Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
• Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
• Интегрированная функция быстрого гашения пучка*
Характеристики электронной пушки • Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии
- 0,6 нм при 30 кВ (STEM*)
- 0,6 нм при 15 кВ
- 0,6 нм при 2 кВ
- 0,7 нм при 1 кВ
- 1,0 нм при 500 В (ICD **)
- 1,2 нм при 200 В (ICD **)
Максимальная ширина горизонтального поля зрения
• Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон контактной энергии
От 20 В до 30 кВ
Ток зонда
• Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA
Предметный столик 5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом
• перемещение по осям X, Y = 100 мм
• перемещение по оси Z ≥ 20 мм
• T (наклон) = от –10° до +60°
• R (вращение) = n x 360° ход
• Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм
• Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 %
• Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52°
• Вращение и наклон под управлением ПК
Рабочая камера  Точка Вцентрика электронного пучка и EDS на рабочем расстоянии 4 мм, 21 порт
• Максимальный размер образца: диаметр 100 мм с возможностью полного вращения
• Максимальная толщина образца (через загрузочный шлюз): 19 мм, включая держатель
• Максимальная толщина образца (через дверь камеры): 27,8 мм, включая держатель
• Вес: 200 г (включая держатель
Детекторы • Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE)
• Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD)
• Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD)
• ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны
• Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ *
• Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) **
• Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) *
• Интегрированное измерение тока пучка
Вакуумная система • 1 x 210 л/с турбомолекулярный насос
• 1 x PVP (предвакуумный насос)
• 2 x IGP (геттерно-ионных насоса)
• Вакуум в камере: 2,6 * 10-6 мбар (через 24 часа откачки)
Дополнительные аналитические возможности • Анализ: EDS*
• Загрузочный шлюз**
• Встроенная система плазменной очистки
• Система криогенной очистки CryoCleaner
• Электронно-лучевая литография (модули производства компаний Raith, Nabity или др.)*
• Звукоизолирующий кожух FEI*
• Cryo SEM: перемещение и подготовка образцов, предметный столик для низкотемпературных применений*
• Газоинжекционная система (GIS)
• Сертифицированный по NIST образец для калибровки увеличения*
Управление системой • 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows® ХР, клавиатура, оптическая мышь
• Два 24-дюймовых ЖК-монитора, WUXGA 1920 x 1200 пикселей
• Для управления микроскопом и вспомогательным ПК достаточно одной клавиатуры и мыши
• Джойстик**
• Многофункциональная панель управления**
• Дистанционное управление*
Получение изображений • Время получения изображений 0,025–25 000 мкс/пиксель
• До 6144 x 4096 пикселей
• Тип файла: TIFF (8, 16, 24-битный), BMP или JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• SmartSCAN™ (256 кадров усреднения или накопления, линейного интегрирования
и усреднения, чересстрочной развёртки) и DCFI (компенсация дрифта
Доступные программные функции • Программное обеспечение доступа к веб-архиву данных*
• Программное обеспечение визуального анализа*
• iFAST для повышения уровня автоматизации*
• MAPS™ для автоматического получения больших изображений и совместной работы*
• Автономное метрологическое программное обеспечение IC3D*
• Cell NavigatorTM для навигации по битовым элементам*
Системные опции • Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°)
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*
Требования по установке • Электропитание: напряжение 100–240 В~, частота 50 или 60 Гц ± 1 %
• Потребляемая мощность: 3,0 кВтА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: 0,1 Ом
• Окружающая среда:
- температура 20 ± 3 °C
- относительная влажность менее 80 %, 20 °С
- магнитные поля рассеяния по переменному току: требуется обследование объекта
- уровень шума: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться акустический спектр
- вибрации пола: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола
• Рекомендуемая ширина x высота дверного проёма: 1,2 м x 2,0 м (минимум 0,9 м x 2,0 м)
• Вес: консоль колонны 850 кг
• Сухой азот
• Сжатый воздух: 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный
• Охладитель системы
• Виброизоляционный стол*
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция