Сканирующий электронный микроскоп Verios 5

Сканирующий электронный микроскоп Apreo 2 – это второе поколение популярной высокопроизводительной платформы с автоэмиссионным катодом Шоттки от компании Thermo Fisher Scientific. Прибор предназначен для исследования самых различных наноматериалов и устройств: металлов, наночастиц, катализаторов, порошков, чипов, МЭМС и т. д. Микроскоп отлично подходит для работы на больших увеличениях с магнитными образцами, а благодаря режиму низкого вакуума (до 500 Па, опция) – и с диэлектриками.

Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо (пропущено слово) с магнитной иммерсией. Микроскоп от Thermo Fisher Scientific объединяет оба решения в одном приборе. Благодаря формированию пучка в тонкий зонд при низких ускоряющих напряжениях прибор имеет лучшую разрешающую способность и дополнительные уникальные возможности для фильтрации сигналов. Комбинированная линза обеспечивает разрешение вплоть до 0,5 нм при 15 кВ и 0,8 нм при 500 В (с функцией замедления пучка) без использования монохроматора.

Для получения высококонтрастных качественных изображений прибор оснащен уникальной внутрилинзовой/внутриколонной системой детектирования Thermo Scientific Trinity™, способной одновременно детектировать низкоэнергетичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода, что позволяет получать изображения морфологии поверхности, обладающие высоким контрастом и сверхвысоким разрешением.

Широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большая камера для образцов, мультифункциональный столик, широкий выбор детекторов и возможность работы в режиме низкого вакуума позволяют использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.

Основные преимущества:

  1. Наилучшее разрешение наноматериалов. Монохроматический источник электронов с UC+ для характеризации в субнанометровом диапазоне при ускоряющем напряжении от 1 до 30 кВ.
  2. Высокий и точный контраст на чувствительных к облучению материалах с превосходными характеристиками при работе с низкоэнергетичными электронами (до 20 эВ) благодаря высокочувствительным внутриколонным детекторам и фильтрации сигналов при работе с низкими дозами облучения.
  3. Кратчайшее время получения информации в наноразмерном диапазоне для пользователей с любым уровнем опыта с использованием лучшей в своем классе электронной колонны Elstar с технологиями SmartAlign и FLASH.
  4. Достоверные результаты измерений благодаря использованию линз СonstantPower, возможности электростатического сканирования и наличию пьезоэлектрического столика.
  5. Большая камера, 21 порт для опционального оборудования.
  6. Автоматическая работа SEM с программным обеспечением AutoScript 4 – дополнительным интерфейсом прикладного программирования на основе Python.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 1,1 нм – 10 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 0,6
Диапазон ускоряющего напряжения, В 350–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 100
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Наличие
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Наличие
Механический Нет
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 150
Ход по осям X и Y, мм 150 × 150
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 1,0
Ход по оси Z, мм 55
Поворот, град. 360
Наклон, град. -10 / +60
Ширина камеры, мм 379
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 21
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Наличие
Интегрированная система измерения тока луча Наличие
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Нет
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Наличие
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Наличие
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Наличие
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Нет
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 2,6 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па Нет
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция