Сканирующий электронный микроскоп Verios 5

Verios представляет пятое поколение сканирующих электронных микроскопов ультрасверхвысокого разрешения флагманской линейки компании Thermo Fisher Scientific. Прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Прибор обладает непревзойденными характеристиками при работе на низких ускоряющих напряжениях и с малоэнергетичными электронами (до 20 эВ), благодаря которым обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность прибора достигает 0,6 нм. Микроскоп Verios — лучшее аналитическое решение при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных СЭМ, этот прибор позволяет работать с наномасштабной топологией, что превращает его в комплексное решение для фундаментальных и прикладных исследований, сопровождения технологических процессов, создания новых материалов и устройств.

Основные преимущества:

  • Монохроматический источник электронов с UC+ для характеризации в субнанометровом диапазоне при ускоряющем напряжении от 1 до 30 кВ.
  • Высокий и точный контраст на чувствительных к облучению материалах с превосходными характеристиками при работе с низкоэнергетичными электронами (до 20 эВ).
  • Достоверные результаты измерений благодаря использованию линз СonstantPower, возможности электростатического сканирования и наличию пьезоэлектрического столика.
  • Большая камера, 21 порт для опционального оборудования.
Тип микроскопа Сканирующий
Область применения Материаловедение
Направление деятельности 2D-анализ
Объекты интереса 1,1 нм – 10 нм
Характеристики электронной пушки
Тип катода Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение (SE), нм 0,6
Диапазон ускоряющего напряжения, В 350–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ 20
Максимальный ток зонда, нА 100
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм Наличие
На 18 держателей 12 мм Нет
На 7 держателей 12 мм Нет
Пьезо Наличие
Механический Нет
Максимальный вес образца, г 500
Максимальный размер образца, Ø мм 150
Ход по осям X и Y, мм 150 × 150
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм < 1,0
Ход по оси Z, мм 55
Поворот, град. 360
Наклон, град. -10 / +60
Ширина камеры, мм 379
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) 21
Детекторы
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере Наличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ Наличие
Интегрированная система измерения тока луча Наличие
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) Нет
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM Нет
T1 – нижний внутрилинзовый детектор Нет
T2 – верхний внутрилинзовый детектор Нет
T3 – внутриколонный детектор Нет
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) Наличие
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) Наличие
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) Наличие
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD Нет
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM Нет
Детектор прошедших электронов STEM 3+ Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL) Опция
Детектор Raman Опция
EDS Опция
EBSD/WDS Опция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па < 2,6 × 10 ⁻ ⁴
Низкий вакуум, Па Нет
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па Нет
Безмасляная вакуумная система Наличие
Дополнительное оборудование:
Пакет Wet-STEM Нет
Криоочистка камеры Опция
Плазменная очистка камеры Опция
Литография Опция
Крио-СЭМ Опция
ГИС Опция
Манипулятор Опция
Зондовые станции Опция
Панель управления микроскопом Опция
Джойстик для управления столиком Опция
Столик для охлаждения Опция
Столик для нагрева Опция
Столик для растяжения/сжатия Опция
Вакуумный шлюз Опция
Функция замедления пучка Опция
Программное обеспечение:
MAPS™ Опция
MAPS™ + correlative work Опция
AutoTEM Нет
Auto Slice&View Нет
ColorSEM Technology Опция
FLASH Опция
SmartAlign Technology Опция
Pattern generation software Опция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction Опция
Remote control Опция
Web-enabled data archive Опция
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция