Сканирующий микроскоп FEI Verios

Фото продукции
  • Описание
  • Технические характеристики
  • Скачать

Второе поколение XHR SEM (сканирующие электронные микроскопы сверхвысокого разрешения) — флагманской линейки компании FEI. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность достигает 0.6 нм!

Микроскоп Verios абсолютно незаменим при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано узлами, что превращает его в комплексное решение для теоретических исследований, управления технологическими процессами, создания материалов, задач фрактографии, анализа дефектов.

Особенности FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
• Электронная пушка Elstar, в том числе:
- Термополевой эмиттер Шоттки
- Возможность замены без прерывания работы
- Технология UC (монохроматор)
•  двойная объективная линза с углом  60° с защитой полюсного наконечника
• Нагреваемые апертуры объектива
• Электростатическое сканирование
• Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
• Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
• Интегрированная функция быстрого гашения пучка*
Характеристики электронной пушки • Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии
- 0,6 нм при 30 кВ (STEM*)
- 0,6 нм при 15 кВ
- 0,6 нм при 2 кВ
- 0,7 нм при 1 кВ
- 1,0 нм при 500 В (ICD **)
- 1,2 нм при 200 В (ICD **)
Максимальная ширина горизонтального поля зрения
• Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон контактной энергии
От 20 В до 30 кВ
Ток зонда
• Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA
Предметный столик 5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом
• перемещение по осям X, Y = 100 мм
• перемещение по оси Z ≥ 20 мм
• T (наклон) = от –10° до +60°
• R (вращение) = n x 360° ход
• Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм
• Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 %
• Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52°
• Вращение и наклон под управлением ПК
Рабочая камера  Точка Вцентрика электронного пучка и EDS на рабочем расстоянии 4 мм, 21 порт
• Максимальный размер образца: диаметр 100 мм с возможностью полного вращения
• Максимальная толщина образца (через загрузочный шлюз): 19 мм, включая держатель
• Максимальная толщина образца (через дверь камеры): 27,8 мм, включая держатель
• Вес: 200 г (включая держатель
Детекторы • Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE)
• Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD)
• Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD)
• ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны
• Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ *
• Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) **
• Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) *
• Интегрированное измерение тока пучка
Вакуумная система • 1 x 210 л/с турбомолекулярный насос
• 1 x PVP (предвакуумный насос)
• 2 x IGP (геттерно-ионных насоса)
• Вакуум в камере: 2,6 * 10-6 мбар (через 24 часа откачки)
Дополнительные аналитические возможности • Анализ: EDS*
• Загрузочный шлюз**
• Встроенная система плазменной очистки
• Система криогенной очистки CryoCleaner
• Электронно-лучевая литография (модули производства компаний Raith, Nabity или др.)*
• Звукоизолирующий кожух FEI*
• Cryo SEM: перемещение и подготовка образцов, предметный столик для низкотемпературных применений*
• Газоинжекционная система (GIS)
• Сертифицированный по NIST образец для калибровки увеличения*
Управление системой • 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows® ХР, клавиатура, оптическая мышь
• Два 24-дюймовых ЖК-монитора, WUXGA 1920 x 1200 пикселей
• Для управления микроскопом и вспомогательным ПК достаточно одной клавиатуры и мыши
• Джойстик**
• Многофункциональная панель управления**
• Дистанционное управление*
Получение изображений • Время получения изображений 0,025–25 000 мкс/пиксель
• До 6144 x 4096 пикселей
• Тип файла: TIFF (8, 16, 24-битный), BMP или JPEG
• Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
• SmartSCAN™ (256 кадров усреднения или накопления, линейного интегрирования
и усреднения, чересстрочной развёртки) и DCFI (компенсация дрифта
Доступные программные функции • Программное обеспечение доступа к веб-архиву данных*
• Программное обеспечение визуального анализа*
• iFAST для повышения уровня автоматизации*
• MAPS™ для автоматического получения больших изображений и совместной работы*
• Автономное метрологическое программное обеспечение IC3D*
• Cell NavigatorTM для навигации по битовым элементам*
Системные опции • Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°)
• Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками
• Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*
Требования по установке • Электропитание: напряжение 100–240 В~, частота 50 или 60 Гц ± 1 %
• Потребляемая мощность: 3,0 кВтА в базовой комплектации
• Сопротивление заземления: 0,1 Ом
• Окружающая среда:
- температура 20 ± 3 °C
- относительная влажность менее 80 %, 20 °С
- магнитные поля рассеяния по переменному току: требуется обследование объекта
- уровень шума: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться акустический спектр
- вибрации пола: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола
• Рекомендуемая ширина x высота дверного проёма: 1,2 м x 2,0 м (минимум 0,9 м x 2,0 м)
• Вес: консоль колонны 850 кг
• Сухой азот
• Сжатый воздух: 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный
• Охладитель системы
• Виброизоляционный стол*
Похожая продукция
Центральный офис в г. Москва +7 (495) 781-07-85 info@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Санкт-Петербург +7 (812) 380-84-85 infospb@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Екатеринбург +7 (343) 287-12-85 infoural@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Киев +38 (044) 454-05-90 infoua@melytec.ru Детальный просмотр
Филиал в г. Tallinn +372 5620-3281 info@melytec.ee Детальный просмотр