Сканирующий микроскоп FEI Verios

Сканирующий электронный микроскоп Verios G2 — второе поколение сканирующих электронных микроскопов ультра-сверхвысокого разрешения флагманской линейки компании Thermo Fisher Scientific. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Прибор обладает непревзойденными характеристиками при работе на низких ускоряющих напряжениях и с малоэнергетичными электронами (до 20 эВ), благодаря которым обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность прибора достигает 0.6 нм!

Микроскоп Verios — лучшее аналитическое решение при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано-масштабной топологией, что превращает его в комплексное решение для фундаментальных и прикладных исследований, сопровождения технологических процессов, создания новых материалов и устройств.

Тип микроскопа Сканирующий
Тип образцов Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие
Разрешение от 0.6
Разрешение до 0.7
Область сканирования от 0
Область сканирования до 100
Особенности FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
• Электронная пушка Elstar, в том числе:
- Термополевой эмиттер Шоттки
- Возможность замены без прерывания работы
- Технология UC (монохроматор)
•  двойная объективная линза с углом  60° с защитой полюсного наконечника
• Нагреваемые апертуры объектива
• Электростатическое сканирование
• Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
• Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
• Интегрированная функция быстрого гашения пучка*
Характеристики электронной пушки • Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии
- 0,6 нм при 30 кВ (STEM*)
- 0,6 нм при 15 кВ
- 0,6 нм при 2 кВ
- 0,7 нм при 1 кВ
- 1,0 нм при 500 В (ICD **)
- 1,2 нм при 200 В (ICD **)
Максимальная ширина горизонтального поля зрения
• Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон контактной энергии
От 20 В до 30 кВ
Ток зонда
• Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA
Предметный столик 5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом
• перемещение по осям X, Y = 100 мм
• перемещение по оси Z ≥ 20 мм
• T (наклон) = от –10° до +60°
• R (вращение) = n x 360° ход
• Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм
• Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 %
• Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52°
• Вращение и наклон под управлением ПК
Детекторы • Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE)
• Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
• Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD)
• Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD)
• ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны
• Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ *
• Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) **
• Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) *
• Интегрированное измерение тока пучка
Подробнее

Фото продукции

Похожая продукция