Сканирующий микроскоп Phenom Pharos
Настольный сканирующий электронный микроскоп (Настольный СЭМ) Phenom Pharos.
Phenom Pharos — сканирующий электронный микроскоп с источником полевой эмиссии с катодом Шоттки, детекторами SE, BSE и EDS микроанализом. Максимальное увеличение 1 000 000х; разрешение <3 нм; ускоряющее напряжение от 2 до 15 кВ.
Данный настольный СЭМ является уникальной моделью, вобравшей в себя все плюсы источника с полевой эмиссией и простоты работы с настольными СЭМ Phenom. Время откачки составляет всего 25 секунд.
Тип микроскопа | Сканирующий |
Тип образцов | Влажные, Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие |
Разрешение от | 3 |
Разрешение до | 14 |
Область сканирования от | 0 |
Область сканирования до | 25 |
Особенности |
|
Характеристики электронной пушки | Катод c полевой эмиссией FEG
|
Предметный столик | Стандартный предметный столик: образцы диаметром до 25 мм и высотой до 30 мм. Опционально:
|
Детекторы | Высокочувствительный сегментированный на четыре квадранта детектор обратно рассеянных электронов (композиционный и топографический режимы). Детектор вторичных электронов. |