Инспекционный микроскоп MX63

MX63/MX63L — серия прямых инспекционных микроскопов, разработанных специально для исследования подложек и плат диаметром до 12 дюймов. Учитывая большой опыт в данной области, Olympus разработал решения, позволяющие проводить контроль электронных компонентов легче, быстрее и эффективнее. В основном используется как микроскоп для полупроводников Также данная модель будет эффективна для изучения любых невысоких габаритных образцов, например в криминалистике.
Важной отличительной особенностью микроскопов MX63 является размер рабочей зоны. Для микроскопа MX63 величина хода составляет 210×210 мм, для микроскопа MX63L — 356×305 мм. Для исследования образцов небольшого размера (дисплеи, микросхему и пр.) достаточно микроскопа BX53M с ходом стола 150×100 мм.

  • Общий диапазон увеличений от 12,5х до 1500х
  • Суперширокопольная оптика с полем зрения 26,5 мм
  • Cтолик 12"х14″ с удобным вакуумным держателем для захвата и переноса образцов
  • Интеграция с системами автоматической загрузки и контроля плат и подложек
  • Функция направленного темного поля DDF
  • Функция смешанного режима контрастирования MIX
  • Проекционная сетка для легкой фокусировки на слабоконтрастных образцах
Применение микроэлектроника
Тип Прямой
Методы контрастирования светлое поле, темное поле, ДИК, MIX (светлое+темное поле), флуоресценция, ИК спектр, простая поляризация, направленное темное поле DDF
Возможность моторизации Да
Увеличение от 12.5
Увеличение до 1500
Оптическая система UIS2
Осветители 100Вт галогеновая лампа (стандарт), 100Вт Hg, 75Вт Xe, 50Вт галоидная лампы (опции)
Револьвер объективов Механический 6-позиционный для светлого поля/ДИК,
Механический  5-позиционный для светлого/темного поля и светлого/темного поля/ДИК.
Моторизированный 6-позиционный для светлого поля/ДИК, 5-позиционный для светлого/темного поля/ДИК.
Предметные столики Ручные с коаксиальным управлением, ход 110 х 105 мм, ход 150 х 150 мм, ход 200 х 200 мм, ход 300 х 350 мм Моторизованные: ход 150 х 150 мм, 300 х 300 мм
Подробнее

Фото продукции